또한 플라즈마 처리 및 열처리 공정에 영향을 . . 2008 · Microwave 플라즈마를 이용한 표면처리 응용기술 마이크로웨이브 상압 플라즈마 표면처리/세정 시스템은 상압에서 1013-1015/cm3의 높은 전자 및 이온 중성 radical을 활용할 수 있으므로 증착효율을 크게 증대시킬 수 있는 장점이 있다. Ⅲ.12 3-2. 개발내용 및 결과 상압 플라즈마 발생장치를 구현하고 분광분석법을 적용하는 APP-OES를 구현 APP-OES의 크기를 위해 50W급 이하의 파워를 사용하려는 . Fig. (주)누리텍은 진공 고분자 코팅 기술로 축적된 진공 장치 노하우를 바탕으로 고객의 요구에 부응하기 위하여 플라즈마를 이용한 진공장치를 자체개발하여 상용화 하였습니다. 방전 전극은 금속 전극에 . 본 발명에 따른 연속식 상압플라즈마장치를 이용한 탄소섬유의 표면처리방법은 플라즈마가 탄소섬유에 주는 영향력이 좋은 최적의 조건을 사용함으로써 높은 계면결합력을 갖는 탄소섬유를 제조할 수 있다.. 2020 · 자동차 부품 플라즈마 표면처리 소개(TPU,PMMA) 2023.

KR101658455B1 - 탄소나노섬유의 표면처리방법 - Google

KR20070066853A KR1020060105439A KR20060105439A KR20070066853A KR 20070066853 A KR20070066853 A KR 20070066853A KR 1020060105439 A KR1020060105439 A KR 1020060105439A KR 20060105439 A KR20060105439 A KR … 용어. 상압 플라즈마 이용 초소수화 3. 연구개발의 내용 및 범위 2차년도 연구내용은 상압 플라즈마를 발생시켜 플라즈마 발생 공정 조건에 의한 고분자 재료을 친수성 표면으로 변화시키고, 그에 따른 표면자유에너지를 구하고 접착력의 변화를 관찰하는 것 고분자 재질은 PC, PET, EVA을 사용하였으며 상압 플라즈마 발생장치의 공정 .500mm급의 균일한 플라즈마를 발생하기 위한 반응기 구조 설계기술을 확보하고, 안정적인 방전 . 본 발명은, 유전체관과, 유전체관의 내주면에 접촉하도록 삽입된 방전극을 포함하되, 상기 방전극은 . 본 발명의 플라즈마 처리 장치는 전원을 공급받아 방전하는 고압전극을 양측에서 지지하며 상기 고압전극의 단부에 대응하는 경사면이 마련된 접지전극과, 상기 접지전극의 단부측에 형성되어 상기 경사면을 따라 형성된 복수의 가스 분출관과 연통하고 혼합가스가 공급되는 혼합 챔버와, 상기 .

KR100855705B1 - 상압 플라즈마 발생장치 - Google Patents

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KR100637200B1 - 플라즈마 표면처리 장치 - Google Patents

KR20030063380A KR10-2003-7006459A KR20037006459A KR20030063380A KR 20030063380 A KR20030063380 A KR 20030063380A KR 20037006459 A KR20037006459 A KR 20037006459A KR 20030063380 A … 본 발명은 에 관한 것으로, 그 구성은 상압 플라즈마 장치에 있어서, 전압을 인가하는 고전압 전극; 및 상기 고전압 전극 하측에 마련되는 가스 공급부;로 이루어지며, 상기 가스 공급부는 공정가스 공급과 전압 방출을 균일하게 할 수 있게 외주면이 각 형태를 갖게 한다.전기적/광학적 heric-pressure e enhanced chemical vapor tric barrier …  · 나방전 상압아크 진공아크 및레이저플라즈마가있다,,, .25 09:25 플라즈마 표면 개질 원리 2020. 2007 · jNICE Â ` ; H m Ô Ý Ò Ä É C Ý ÿ À à , I Ø º : S î I × Ó À ² : » Ò Ä É C J ; 8 Ý Þ À ² ( > Þ Þ q Þ È > 3 z E Þ J ; Ø ( 3 ñ & ð × ¢ ñ 본 발명에 의한 복합 플라즈마 표면처리 방법 및 이를 이용한 복합 플라즈마 표면처리 장치는, 레이저를 이용하여 유도되는 플라즈마를 시편의 표면 상부에 형성하는 과정; 및 상기 레이저에 의해 유도되는 플라즈마를 시편의 표면 상부에 형성하기 이전 또는 동시 또는 이후에, 전기를 이용하여 . 플라즈마는 이온화 된 형태의 가스이며 제어 된 수준의 AC 또는 DC 전력과 이온화 가스 매체를 사용하여 생성 할 수 있습니다. 본 발명은 상압 플라즈마 처리장치에 관한 것으로, 본 발명에 의한 상압 플라즈마 처리장치는 상압 플라즈마 처리장치에 있어서, 직립되도록 구비되는 한 쌍의 전극; 및 상기 전극과 기판 사이에서 발생되는 자기장에 의해 이온을 상기 기판의 필름층에 조사시켜 요철을 형성시키는 자력 발생부; 를 .

플라즈마와 염색기술

Ts电报群- Koreanbi 1.13 14:38 플라즈마크리닝 원리소개 2020. KR102202748B1 - 탄소복합재 대기압 플라즈마 표면 처리 장치 - Google Patents . 대면적/고속 표면처리용 상압 플라즈마 장비개발. non-thermal plasma) 또는 열플라즈마(thermal plasma) 등으로 구분하기도 … 2003 · 상압플라즈마를 구현하는 방법으로는 유전체 장벽 방전 (Dielectric Barrier Discharge, DBD), 코로나 방전 (corona discharge), 마이크로웨이브 방전 (microwave discharge), 아크방전 (arcdischarge) 등의 기술이 있다. 2.

[보고서]대기압 플라즈마 응용 표면처리 및 공정장비 개발

플라즈마 표면처리 … 본 발명은 플라즈마를 이용한 표면 처리 장치에 관한 것으로서, 구체적으로는 관형 플라즈마 전극을 이용해 피처리물을 관형 전극 내부로 통과시키면서 처리하는 플라즈마 표면 처리 장치에 관한 것이다. 대기압 플라즈마 살균 특성 평가 . 플라즈마 표면처리. The MYSmart series offers a wide range of specialized dispensing and coating solutions. 보고서상세정보. 이를 위하여, 본 발명은 챔버와, 상기 챔버 내의 적어도 일측에 배설된 적어도 하나의 이온 소스와, 피처리체를 탑재하는 트레이와, 상기 이온 소스에 대향되도록 . KR20090106820A - 상압플라즈마 처리장치 - Google Patents - 일본 기업의 국내 진출에 따라 가공 및 소재열처리 등 다방면에서의 품질규격이 높아질 것으로 예상됨에 따라 공정기술 및 장치기술의 향상이 기대. 2021 · plasma surface treatment.유전체장벽방전. 이를 위해 본 발명은 중공의 몸체, 중공의 몸체 내부로 가스를 . -1단계(2년후) : 저온(∼250℃) 및 상압(∼760 Torr) 플라즈마 표면처리 Prototype 시스템 구축 및 공정 응용시험 -2단계(5년후) : 저온(상온∼150℃)/상압(∼760 Torr) 플라즈마 표면처리 … 금속소재 표면처리를 위한 플라즈마 전해연마 저온/상압 플라즈마 표면처리 기술 친환경 전해플라즈마를 이용한 고기능성 금속소재 개발 전해연마 방법을 적용한 자동차 배기구 테일트림 고방청 표면처리 기술 개발 토치형 상압 플라즈마 방전기체를 LB 배지의 가운데 부분을 조사하 였다. 코팅 기능성 처리 Coating 나노 코팅 / Hydrophobic / Reduction Read More 증착 deposition AP-PECVD로 다양한 물질 증착 .

상압 플라즈마 표면처리에 의한 고분자 재질의 접착특성 변화

- 일본 기업의 국내 진출에 따라 가공 및 소재열처리 등 다방면에서의 품질규격이 높아질 것으로 예상됨에 따라 공정기술 및 장치기술의 향상이 기대. 2021 · plasma surface treatment.유전체장벽방전. 이를 위해 본 발명은 중공의 몸체, 중공의 몸체 내부로 가스를 . -1단계(2년후) : 저온(∼250℃) 및 상압(∼760 Torr) 플라즈마 표면처리 Prototype 시스템 구축 및 공정 응용시험 -2단계(5년후) : 저온(상온∼150℃)/상압(∼760 Torr) 플라즈마 표면처리 … 금속소재 표면처리를 위한 플라즈마 전해연마 저온/상압 플라즈마 표면처리 기술 친환경 전해플라즈마를 이용한 고기능성 금속소재 개발 전해연마 방법을 적용한 자동차 배기구 테일트림 고방청 표면처리 기술 개발 토치형 상압 플라즈마 방전기체를 LB 배지의 가운데 부분을 조사하 였다. 코팅 기능성 처리 Coating 나노 코팅 / Hydrophobic / Reduction Read More 증착 deposition AP-PECVD로 다양한 물질 증착 .

KR20090052129A - 상압 플라즈마 장치 - Google Patents

2021. 본 발명은 나노분말 상태의 피처리물을 표면개질하기 위한 상압 플라즈마 표면 처리 장치에 관한 것으로, 내부에 공간부가 형성된 하우징과; 상기 하우징 외측에 형성되어 상기 공간부에 반응가스에 의한 플라즈마를 발생시키는 플라즈마발생부와; 상기 하우징 하측에 결합되어, 상기 공간부에 반응 . 이러한 상압 플라즈마 기술은 위에 소개한 반도체 제조공정에 국한되지 않고, 폴리머 및 … 본 발명은 상압 플라즈마 처리장치에 관한 것으로, 그 구성은 하우징; 상기 하우징 내에 구비되는 고전압 전극; 및 상기 고전압 전극의 상부와 하부에 각각 구비되어 공정 가스를 공급하게 하는 상부 그라운드 전극 및 하부 그라운드 전극;을 포함하여 이루어지고, 상기 상부 그라운드 전극 및 하부 . 상압플라즈마를 이용하여 PS의 표면을 개질하고, 그 위에 4, 000 A과 8, 000 A의 구리 박막을 열증착법을 이용하여 증착하였다. 초록. 대면적/고속 표면처리용 상압 플라즈마 장비개발.

[보고서]폴리올레핀 폴리머의 표면 활성화를 위한 화염처리의

플라즈마 처리에 . 관련기술현황 . 2021 · 대기압 플라즈마(atmospheric-pressure plasma), 혹은 저온 플라즈마(cold plasma 또는. 연구수행 내용 및 결과 . 2003 · 본 발명은 대면적 표면처리용 상압 플라즈마 표면처리장치에 관한 것으로서, 플라즈마를 배출하는 토치전극의 배열을 달리하여 대면적의 평판형태 또는 굴곡이 있는 대면적의 피처리물을 표면처리할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다. 고분자 재질은 PC, PET, EVA 를 사용하였으며 표면자유에너지 변화를 … 2017 · 플라즈마 표면 처리장치 및 그 처리방법 US9312155B2 (en) 2011-06-06 2016-04-12 Asm Japan K.해커스 경찰

소개 물질의 네 번째 상태를 활용하는 플라즈마 기술은 다양한 응용 분야로 인해 수많은 과학 및 산업 . 본 발명의 플라즈마를 이용한 임플란트 유닛의 표면처리방법은 피처리물 수용선반에 임플란트 유닛이 탑재되는 단계; 상기 피처리물 수용선반이 플라즈마발생장치에 투입되는 단계; 및 상기 플라즈마발생장치를 작동시켜 임플란트 유닛의 표면이 플라즈마 표면처리되는 단계;를 포함하고, 본 . 2021 · 플라즈마기술의 농업분야 활용과 해외사례 세계 농식품산업 동향∙1 플라즈마기술의 농업분야 활용과 해외사례 김 대 웅*· 강 우 석**1) 1. 이 중 유전체 장벽 방전은 기존의 진공플라즈마에 비해 100~1000배 이상 . 화염처리는 자동차 산업, 포장 산업, 프린팅 산업, 유리 산업, 코팅 산업, 접착 산업, 압출 산업, 라미네이팅 산업, 의료/제약 산업등 넓은 분야에 적용되는 . 본 발명은 유전체관의 내부를 통과하는 공기가 방전영역에서 효율적으로 플라즈마처리됨으로써 플라즈마발생에 필요한 에너지의 효율적 사용이 가능한 구조의 플라즈마 처리장치를 제공한다.

도 1에서 (a) ~ (c)는 각각 비교예와 본 발명의 실시예에 따른 탄소나노섬유의 SEM 이미지이다.1 초소수성 일반적으로 재료의 표면은 물과의 반응정도에 따라 크게 친수성(hydrophilic) 과 소수성(hydrophobic) 으 로 구분된다. 대기압 플라즈마 발생기술 및 발생기 설계 . 등록일자. 제 2 전극은 상기 제 1 전극의 길이방향을 따라, 상기 제 1 . 2014 · Effect Increasing surface energy Variation of surface structure and morphology Functionalization Consequence Oxidation and etching of surface area 본 과제는 디스플레이 산업용 건식 표면처리에 활용할 수 있는 6G급 플라즈마 표면처리 반응기 개발을 목표로 한다.

KR20090077264A - 상압 플라즈마 표면 처리된 azo 박막 및

KR20200014166A - 저온 플라즈마 표면처리 장치 - Google Patents 저온 플라즈마 표면처리 장치 Download PDF Info Publication number KR20200014166A . Kim et al. - 플라스틱,각종필름,특수 필름 등 다양한 소재의 표면을 활성화 시켜,친수성 향상,접착력증가,표면 세정등 다양 한 표면적변화를 통한 표면 개질 장치 2. 7 1--1-71-01: RIBE(Reactive Ion Beam Etching), CAIBE(Chemically Assisted Ion Beam Etching), 연구목표 (Goal) : 1) 기술개발목표소재의 표면 기능성 향상을 위한 플라즈마 응용 표면처리 기술개발상압 저온 플라즈마 소스 기술 및 플라즈마 평가 기술 개발연속적으로 처리할 수 있는 플라즈마 반응기 설계 기술 개발2) 인력양성목표본 사업을 통하여 총 사업 . 목표 달성도 및 관련  · 또한 , 최근에는 대기압 플라 즈마 방전이 많이 발전하여 옷감이나 금속 물질들의 표면 처리에 실제로 응용되는 경우가 늘어나고 있다. 본 발명은 탄소나노섬유의 표면처리방법에 관한 것이며, 보다 구체적으로 이온빔 플라즈마를 이온 소스로 사용하여 탄소나노섬유의 표면을 플라즈마 처리하는 방법에 관한 것이다. 2007 · 저온/상압 플라즈마 표면처리기술은 열변형 및 공정 Space의 제한이 없으며 환경친화적인 특성을 갖고 있어 21세기형 clean Technology로 평가되고 있다.1~1기압의 압력에서 고밀도 플라즈마를 발생하여 빠른 속도로 에칭, 기능성 박막 증착 등을 처리할 수 있는 기술 및 장비 • 태양전지용 Si 박막 소재의 기존 기술 … 2019 · à d % Ñ Â 783 á Ý Ò Ä É c d d ß x = review article 3&7*&8 "35*$-& 1 Ë Á ß ® ß ¤ s d ß ® * Â Ë ³ × 본 발명은 상압 플라즈마 발생장치에 관한 것으로서, 특히 상부에 하나 이상의 금속 상부 전극을 사용하고 상부 전극 맞은편에 유도 전극과 유도전극 안테나를 두어 낮은 인가전압에서 고밀도 플라즈마를 발생시키며, 또한 기저 전극을 사용하여 상부 전극들 사이의 간섭을 배제하여 적은 공간에서 . . 체장벽방전 코로나방전 … 2021 · 코로나와 플라즈마 방전은 표면 처리에 널리 사용되는 두 가지 기술입니다. 2013 · 반도체·D/P분야 플라즈마 표면처리 韓기술력 세계 최고 D/P·PV 분야 대면적 플라즈마 기술 개발이 핵심 경쟁력 반도체 공정으로의 응용기술 반도체 제조 시 한정된 … 차세대 디스플레이로 주목받는 유연기판의 상용화를 위해 저가의 공정개발이 요구된다. 국내외 기술 개발 현황 . Hentoid 오류 유리 기판이 이송되면서, 하부 표면은 다음의 두 개의 연속하는 공정 단계에 의해 처리된다: i) 건식 HF 가스와 접촉 단계, 여기서, 상기 건식 HF 가스는 대기압 플라즈마 강화에 의해 발생될 수 있음; 및 ii) 0.15 3-3.. 그림 2.10 2-1. 대기압 플라즈마 응용 표면처리 및 공정장비 개발. 상압 플라즈마 표면처리에 의한 고분자 재질의 접착특성 변화

윤영호·유경호 - CHERIC

유리 기판이 이송되면서, 하부 표면은 다음의 두 개의 연속하는 공정 단계에 의해 처리된다: i) 건식 HF 가스와 접촉 단계, 여기서, 상기 건식 HF 가스는 대기압 플라즈마 강화에 의해 발생될 수 있음; 및 ii) 0.15 3-3.. 그림 2.10 2-1. 대기압 플라즈마 응용 표면처리 및 공정장비 개발.

Fqm 품질 07. 본 연구에서는 상압 플라즈마를 이용한 고속 직접접합공정을 위하여 상압 플라즈마와 함께 에어로젤 형태의 초순수 분사를 이용하여 표면처리 활성화 및 결함이 없는 실리콘 웨이퍼의 직접접합 공정을 개발하였다. Cu-Cu 웨이퍼 본딩 강도를 향상시키기 위한 Cu 박막 의 표면처리 기술로 Ar −N2 A r − N 2 플라즈마 처리 공정에 대해 연구하였다. 지금 간단하게 저희 주력 제품인 에어플라즈마를 소개해 드리겠습니다. 2013 · 플라즈마 표면처리, 반도체·D/P·LED 핵심기술 기술의 개요 기술의 정의 및 분류 플라즈마는 가스 원자 또는 분자 등이 전기에너지를 공급받은 자유전자에 의해 이온화, 해리 등의 반응을 일으켜 이온, 반응성 라디칼 등이 생성돼 군집해있는 상태를 지칭하며 플라즈마 응용 표면처리 기술은 . 표면개질은 열전달면으로 사용되는 금속의 표면에 인위적인 가공을 더하여 열전달 성능을 향상시키고자 창안되었다.

금속 산화물을 이용함으로써 큰 유전율을 갖는 유전체를 이용한 상압 방전용 전극 및 이를 이용한 고밀도 상압 플라즈마 세정 장치가 개시된다. 코로나 처리는 플라즈마 처리에 비해 높은 … 대기압플라즈마 응용 표면처리 기술 및 공정 장비 개발에 관한 연구 과제기간 2005 총연구비 . 이러한 … 2013 · 반도체·D/P분야 플라즈마 표면처리 韓기술력 세계 최고 D/P·PV 분야 대면적 플라즈마 기술 개발이 핵심 경쟁력 반도체 공정으로의 응용기술 반도체 제조 시 한정된 웨이퍼 상에서 더 많은 수율을 얻기 위해 플라즈마 공정에는 고밀도의 균일한 플라즈마 기술이 수반돼야 한다. 있었으며, 상압 플라즈마 표면처리 공정은 필름 계면의 접착력을 크게 증가시켜 주는 것을 확인하였다.이중에서플라즈마를이용하는건식식각(dry 구체적으로, 기존의 플라즈마 탈지 방식에 비해 고속인 10~30 mpm의 속도에서 표면 잔류 탄소량이 10 mg/m 2 이하의 고성능 탈지가 가능하고, 플라즈마를 발생시키기 위한 입력 전력, 플라즈마 노즐과 처리 대상과의 거리, 가스 조합 등을 변화시키면 30 mpm 이상의 처리 . 본 발명은 대형화된 피처리체의 경우에도 플라즈마 균일도를 확보할 수 있는 플라즈마 표면 처리장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.

KR20040023877A - 상압 플라즈마 발생장치 - Google Patents

17 15:46  · -표면친수성개선기술 환경기술-환경오염가스제거기술-상하수처리시유해물질제거및소독․-이산화탄소저감기술 디스플레이기술-디스플레이평판세척공정-PRrework디스플레이평판 공정-PR(ashing)디스플레이평판 에싱-LCD용광원기술 - (PDP)플라즈마판넬 바이오 소재의 생체 접합성 향상을 위한 저온 플라즈마 표면처리 기술은 최근 수요가 급증하는 고부가가치 바이오 표면처리 기술이다.코로나 표면처리장치 제조 기술 - 산업용 장비에 필요한 고전압 DC 전원장치, AC 전원장치,PULSE 전원장치 등을 고객이 . 본 발명은 상압 플라즈마 발생장치에 관한 것으로서, 특히 안테나 및 안테나 전극을 사용함으로서 금속 전극 간에서 아크 발생이 일어나지 않으면서, 하나의 전원 장치로 여러 개의 금속 전극을 사용하는 플라즈마 Cell에서 동시에 플라즈마를 발생시킬 수 있으며, 발생되는 플라즈마는 비열의 코로나 . 2023 · #플라즈마표면처리#플라즈마기술#대기압플라즈마#플라즈마장치#플라즈마장치#플라즈마업체#상압플라즈마#코로나처리기 #플라즈마처리장치 , 오일제거 플라즈마 기술 #플라즈마세정 #를파즈마장치#플라즈마장비#세정 플라즈마장비, 본 발명은 분무화 표면 처리제를 영족 공정 기체에서 발생된 비-평형 대기압 플라즈마에 혼입하고, 처리되는 상기 표면은 분무화 표면 처리제를 함유하는 대기압 플라즈마와 접촉하도록 배치하며, 저비율의 질소를 공정 기체에 혼입시킴으로써, 상기 표면에 형성된 피막의 입자 함량이 감소됨을 .상압플라즈마 실험 장치 . 들어가며 플라즈마 기술은 반도체와 디스플레이 생산에 필요한 첨단 제조 기술이자, 미세먼지와 유해물질을 제거하는 환경기술, 핵융합 발전을 실현하는 . KR200427719Y1 - 상압 플라즈마 발생장치 - Google Patents

Created Date: 5/31/2007 4:25:57 PM [보고서] 저온/상압 플라즈마 표면처리 기술 함께 이용한 콘텐츠 닫기 상세정보조회 원문조회 닫기 전체 참여 연구원 상세정보 참여 연구원 과제요약정보 과제명(ProjectTitle) : -연구책임자(Manager) : -과제기간(DetailSeriesProject . High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules US9793148B2 (en) 2011-06-22 2010 · 폴리올레핀 폴리머의 표면 활성화를 위한 화염처리의 기초.11. 2023 · 우연히 만난 이를 함부로 생각하지 않고, 다양한 생각을 포용하고, 새로운 것을 좋아하는 사람을 만나고 싶어요 살충제 제거 및 농업 발전을 위한 새로운 플라즈마 솔루션 플라즈마 기술 소개 I. 10cm급 파일럿 규모의 반응기에서 구동조건과 반응기구조에 . 본 연구는 대면적 상압 플라즈마 장치를 개발해 경제성있는 유연소자 표면처리용 장비개발을 최종목표로 한다.서울대 정보화본부nbi

10. RFID 태그의 신뢰성 향상을 위한 고성능 건식 연속공정 표면처리 . 6. 플라즈마표면처리기술에는플라즈마스퍼터링과에칭 플라즈마이온주입법, 과플라즈마 플라즈마중합 그리고플라즈마그래프팅상호중합deposition, , - - 등과같은것이있다. 저희는 표면 처리 전문 회사고요. 이것은 평균적으로 전기적으로 중성을 유지하기에 충분한 입자 밀도를 가진 .

상압 플라즈마 처리장치는, 플라즈마 발생 모듈, 상기 플라즈마 발생 모듈 하부를 상기 기판이 통과하도록 이송하는 기판 이송부 및 상기 기판 이송부 하부에 구비되며 상기 . Dispensing and coating. 본 발명은 상압플라즈마를 이용한 폴리이미드 필름의 표면처리방법에 관한 것이다.5 nm 범위에 있도록 AFM에 의해 측정된 평균 표면 . 본 발명의 실시예에 따른 상압 플라즈마 발생장치는 제 1 전극, 제 2 전극, 및 가스공급부재를 포함한다. 저온/상압 플라즈마 표면처리기술.

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