검색 MY메뉴 열기 ULVAC STUDY [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 1 알박크라이오 2019. 본 발명의 크라이오 펌프에, 상기 전방어래이의 내측 하면에 설치되어 순간 고열이 발생하는 히터블록과; 상기 히터블록에 연결되어 온도를 제어 및 전원을 공급하는 온도조절기를; 포함하는 것을 특징으로 한다. 키자드 - 2013 · 3-1 Model 10 Cryo-Plex® Cryopump—Introduction Introduction 3 3. PURPOSE: A cryo-pump, a regeneration method of the cryo-pump, and a controlling machine of the cryo-pump are provided to include a small number of temperature sensors, thereby reducing a heating time. Mon - Fri: 7 am - 3:30 pm PST. 압력에 대한 경고 크라이오펌프는 내부에 대량의 응축성 기체를 저장할 수 있습니다. 우선 펌프와 컴프레서, 플렉시블 호스 등의 … [PROBLEMS] To provide a cryo pump provided with a small number of temperature sensors arranged to help shortening the temperature rise time. [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 4_1. Our equipment is used in oil fields, exploration sites, aerospace, material research, space programs, industrial gas facilities, steel . - ACCESSORIES : FLEXIBLE HOSE, 냉동기/전원CABLE, MBD SERIES 온도표시계, 기타. PURPOSE: A cryo-vacuum pump is provided to improve the ability of collecting gas and prevent an active carbon fiber from being separated from a very low temperature plate, thereby improving the pumping efficiency. 제1 스테이지 팽창 공간의 콜드 엔드는, 상기 크라이오패널들을 수용하는 진공 하우징에 상기 팽창기 실린더가 들어가는 .
냉각면 재료로는 구리 · 알루미늄 … 2018 · 크라이오펌프 (CRYO PUMP) Cryogenics는 극저온의 뜻으로 CRYO PUMP는 헬륨 가스를 이용하여 단열팽창 원리로 냉각시킨 극저온면에 기체분자를 응축 또는 흡착하여 배기하는 저장성 저온펌프입니다. 본 발명은 반도체소자 제조를 위한 이온주입 공정에 사용되는 크라이오 펌프(cryo pump)에 관한 것으로, 제2스테이지와 이에 장착되는 냉각패널사이에 열전도성이 저온과 고온에서의 열전도성의 차이가 크게 나타나는 열전달부재를 개입시켜 펌프 재생(regeneration) 시 펌프의 챔버가 고온 환경을 . 오늘은 크라이오펌프 구성과 세부적인 기능에 대해 알아보겠습니다. A housing is used for defining a pump … 2019 · Cyro-Pump Control Cryo-pump control is used to sequence the pump stack components to put the chamber under vacuum or to vent the system to atmospheric pressure. 크라이오펌프(10)는, 실드공동(33)을 실드공동 상부(33a)와 실드공동 하부(33b)로 구획하는 톱크라이오패널(41)을 구비한다. 1.
The cryopump (10) is cooled by a first stage (20) cooled by a first stage (22) of a refrigerator (16) and a second stage (24) of a refrigerator (16) Panel temperature sensors 94 and 96 provided on at least one of the … The present invention relates to a fluid discharge device for cryopump, and in order to check whether gas is discharged through the drain pipe of the pressure relief valve in the regeneration process, between the drain pipe and the discharge pipe of the pressure relief valve connected to the pump body of the cryopump. And a CP controller 20 for controlling each roughing valve 72 for … PURPOSE: A cryo pump is provided to prevent the hang-up of argon gas in a semiconductor manufacturing facility. The first stage includes a second stage(30) and a front array(22). 1, Masan 11-ro, Jinwi-myeon, Pyeongtaek-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea . US4466252A 1984-08-21 Cryopump. First stage panels(14,18) are cooled to 50-80K and a second stage panel(16) is cooled to 10-20K.
2023 Yaşli Adam Kız Porno 2 - has a vapor pressure of 760 torr) at 165. 환상배플상면(16b)이 밸브플레이트(106)와의 사이에 . 크라이오펌프(10)는, 냉동기(16)의 제2 냉각스테이지(24)에 열적으로 결합되어 있는 제2 크라이오패널유닛(20)과, 실드 주개구(34), 실드측부 개구(44), 및 실드바닥부 개구(42)를 갖는 방사실드(30)와, 실드바닥부 개구(42)에 면하는 하우징바닥부(74 . 기기의 성능 저하를 막기 위해 일일 점검이 매우 중요합니다. PURPOSE: A cryo-pump system and regenerating method for the same are provided to prevent particles from flowing into the pump, and the increase of pressure caused by a roughing pipe. Sep 25, 2022 · 크라이오 펌프 (cryo pump)는 원래 cryogenic pump의 줄인 말로써, cryo는 저온이라는 의미이다.
PURPOSE: A cryo-pump and a manufacturing method thereof are provided to easily discharge noncondensable gas by exposing a vertical panel toward the opening of the cryo-pump. 이웃추가.5Pa 이하면 합격 기준입니다. 크라이오펌프는 내부에 대량의 응축성 기체를 저장할 수 있습니다. 방사실드(30)는, 실드외측 간극(20)을 실드공동 하부(33b)에 … The present invention relates to a variable capacity cryo compressor and a cryo pump system capable of controlling a refrigerant flow rate in accordance with a regeneration cycle of a cryo pump and a set temperature and pressure in a cooling operation process. cryo cryopump cryopanel … 크라이오펌프(10)는, 흡기구(12)를 갖는 크라이오펌프하우징(70)과, 크라이오펌프하우징(70)과 비접촉으로 크라이오펌프하우징(70) 내에 배치되어, 실드냉각온도로 냉각되는 방사실드(30)와, 흡기구(12)에 배치된 차열더미패널(32)를 구비한다. KR102364146B1 - 크라이오펌프 - Google Patents 크라이오펌프의 비응축성 기체의 배기성능을 향상시킨다. gm 타입 냉동기에 의하여 냉각되는 크라이오펌프가 개시된다. .1 General Information about the Model 10 Cryopump . Linde Gases Division, Seitnerstrasse 70, 82049 Pullach, Germany Phone +49. 크라이오 펌프의 기본구성 - CRY.
크라이오펌프의 비응축성 기체의 배기성능을 향상시킨다. gm 타입 냉동기에 의하여 냉각되는 크라이오펌프가 개시된다. .1 General Information about the Model 10 Cryopump . Linde Gases Division, Seitnerstrasse 70, 82049 Pullach, Germany Phone +49. 크라이오 펌프의 기본구성 - CRY.
Fluid release device for cryo pump - Google Patents
Cryo-pump Download PDF Info An apparatus and a method for measuring gas absorption characteristic of a cryogenic pump absorption panel are provided to improve an exhaust method of a cryogenic pump by estimating exhaust capability of the cryogenic pump. 크라이오펌프(10)는, 냉동기(16)의 제2 냉각스테이지(24)에 열적으로 결합되어 있는 제2 크라이오패널유닛(20)과, 실드 주개구(34), 실드측부 개구(44), 및 실드바닥부 개구(42)를 갖는 방사실드(30)와, 실드바닥부 개구(42)에 면하는 하우징바닥부(74)를 갖는 크라이오펌프 . 3. 블로그 메뉴 프롤로그 블로그 지도 안부 블로그 공지 목록 . 1 . 16.
An apparatus for measuring gas absorption characteristic of a cryogenic pump absorption panel includes an electronic … The present invention relates to a cryo pump. The cryo pump system 100 includes a cryo pump 10 for performing a preparatory operation including a cooldown from a room temperature to a cryogenic temperature and a cryogenic vacuum exhaust operation and a working gas for the cryo pump 10 A gas line 72 … The present invention improves energy saving performance of a cryo-pump system. 크라이오펌프의 성능 크라이오펌프의 성능에서 중요. WO2007066852A1 PCT/KR2006/000483 KR2006000483W WO2007066852A1 WO 2007066852 A1 WO2007066852 A1 WO 2007066852A1 KR 2006000483 W KR2006000483 W KR 2006000483W WO 2007066852 A1 WO2007066852 A1 WO 2007066852A1 Authority WO WIPO (PCT) Prior art keywords stage cryopump transfer member heat transfer … 크라이오펌프(10)는, 제1 냉각스테이지(22)와 제2 냉각스테이지(24)를 구비하는 냉동기(16)와, 제2 냉각스테이지(24)를 둘러싸고 축방향으로 뻗어 있으며, 제1 냉각스테이지(22)에 열적으로 결합된 방사실드(30)와, 축방향에 있어서 흡기구(12)와 제2 냉각스테이지(24)의 사이에 배치되고, 제2 냉각스테이지(24 . 각 크라이오패널부재(62)는, 원호부(78) 및 현(79)을 갖는 활형상 평탄부(75)와, 활형상 평탄부(75)와 일체형성되어 현(79)의 일부에서 활형상 평탄부 . 이제 .샌드위치 판넬 시공
If the temperature is low enough, the vapour will change … PURPOSE: A vacuum system using a cryo pump is provided to reduce cost by using the cryo pump as a high vacuum pump, and to remarkably shorten an interval of work time by eliminating the necessity of a baking process. 본 발명에 따른 크라이오 펌프는 복수의 홀이 형성된 원형 플레이트를 갖춘 배플(baffle)을 구비하고, 상기 홀은 ¼인치보다 크고 1 . 오늘은 크라이오펌프 구성과 세부적인 기능에 대해 알아보겠습니다. PURPOSE: A cryopump is provided to reduce a possibility of the interference of the design of an installation location. 여기서, 콜드(제2 스테이지) 크라이오패널(들)은, 팽창기 실린더의 축에 평행으로 배치된 평면 내에 존재한다. CRYO－U®시리즈는 소형 헬륨 냉동기를 사용하고 있기 때문에 어떠한 방향에도 설치가 … 블로그 카테고리 이동 한국알박크라이오의 공식 블로그입니다.
The present invention relates to a stabilizer for a cryo vacuum pump including a conduit … 크라이오 펌프의 안전한 사용에 관한 안내 사항입니다. There is provided a cryo pump suitable for high-speed exhaust of non-condensable gas such as hydrogen gas. 2004 · 이웃추가. Sales@ . 이러한 기술에서 더 깨끗한 진공과 높은 내구성, 우수한 펌프 성능을 만들 수 있습니다. 크라이오 펌프의 안전한 사용에 관한 안내 사항입니다.
[PROBLEMS] To provide a cryopump for high speed exhaust of a non-condensable gas such as hydrogen, and a method for producing such cryopump. The motor side flange 44 supporting the weight of the motor part 23, the freezing part 24 and the cryo pump internal part 35 is fixed to the pump case side flange 42 by the dustproof device 5 have. 압력에 대한 경고 크라이오펌프는 내부에 대량의 응축성 기체를 저장할 수 있습니다. 5. The 'typical' cryo pump has two temperature regions, a 60 - 80 K shroud . . 이웃추가.89. 아르곤 가스의 행업(hang-up)을 방지할 수 있도록 사이즈가 큰 복수의 홀이 형성된 원형 플레이트를 구비한 배플(baffle)을 갖춘 크라이오 펌프(cryo pump)에 관하여 개시한다. cryo vacuum pump activated carbon pump carbon fiber Prior art date 2002-12-16 Application number KR1020020080352A Other languages English (en) Inventor 김경식 김윤명 Original Assignee 엘지. 4 Wide range of sizes from 8 to 20 inches (200 to 500 mm) to support a variety of applications. 11. 호 상희 The cryo panel assembly comprises a top panel(60) and … PURPOSE: A vacuum detection method of cryo pump controller, cryo pump system, and cryo pump is provided to moderately detect vacuum state by controlling exhaustion of a cryo pump. - 냉동기 UNIT. 톱크라이오패널(41)은, 축방향으로 실드 주슬릿(36)의 상방에 위치하는 . 저장된 기체의 양이 배기 용량에 이르면 도달 압력의 상승, 배기 속도의 저하 등 성능이 저하되어 . 크라이오 펌프의 기본구성 - CRYO PUMP UNIT - 냉동기 UNIT - COMPRESSOR UNIT - ACCESSORIES : FLEXIBLE HOSE, 냉동기 / … 2020 · 크라이오 펌프를 좋은 성능으로 유지하기 위한 7가지 요인 우선 크라이오 펌프는 높은 신뢰성과 내구성을 유지할 수 있도록 설계되어 있지만, 정기적인 유지 보수 작업은 필수적입니다. 존재하지 않는 이미지입니다. KR20040070755A - Gas exhaust of cryo pump - Google Patents
The cryo panel assembly comprises a top panel(60) and … PURPOSE: A vacuum detection method of cryo pump controller, cryo pump system, and cryo pump is provided to moderately detect vacuum state by controlling exhaustion of a cryo pump. - 냉동기 UNIT. 톱크라이오패널(41)은, 축방향으로 실드 주슬릿(36)의 상방에 위치하는 . 저장된 기체의 양이 배기 용량에 이르면 도달 압력의 상승, 배기 속도의 저하 등 성능이 저하되어 . 크라이오 펌프의 기본구성 - CRYO PUMP UNIT - 냉동기 UNIT - COMPRESSOR UNIT - ACCESSORIES : FLEXIBLE HOSE, 냉동기 / … 2020 · 크라이오 펌프를 좋은 성능으로 유지하기 위한 7가지 요인 우선 크라이오 펌프는 높은 신뢰성과 내구성을 유지할 수 있도록 설계되어 있지만, 정기적인 유지 보수 작업은 필수적입니다. 존재하지 않는 이미지입니다.
미국 의대 - 1. The cryo-pump performs a vacuum exhaust … Thereby improving the safety of regeneration of the cryopump. W … · 크라이오펌프 申请号 KR1020140011060 申请日 2014-01-29 公开(公告)号 KR1020140109251A 公开(公告)日 2014-09-15 申请人 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤; 发明人 펌프 유입구; 2개 스테이지 냉동기; 상기 2개 스테이지 냉동기 중 제 1 스테이지에 열적으로 결합된 제 1 스테이지 어레이(first stage array); 및 상기 2개 스테이지 냉동기 중 제 2 스테이지에 결합된 크라이오패널 구조체(cryopanel … The present invention relates to a discharge pipe of the cryopump. 3285 Yale Way, Fremont, Ca 94538. 압력에 대한 경고 크라이오펌프는 내부에 대량의. 2) 또 열교환기 (라디에이터)에 이물질 등이 생기지 않게 정기적으로 체크 후 .
간단한 구성 내부에 높은 기술의 집적으로 이루어진 크라이오 펌프는.필립스 엘시디 주식회사 Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. A vibration damped cryopump and a vacuum processing apparatus are provided. The cryo pumps comprise a roughing pump(73) and … [해결수단] 크라이오펌프(10)는, 저온크라이오패널(18)과, 저온크라이오패널(18)의 외측에 설치되어 있는 고온크라이오패널(20)과, 고온크라이오패널(20)의 외측에 설치되어 있는 하우징(38)을 구비한다. For this, the variable capacity type cryopump system according to the present … PURPOSE: A cryo-pump is provided to facilitate repairs when malfunctions occur. 2017 · 회전식 용적형 펌프{Volumetric rotary pump} .
The present invention has a two-stage configuration, comprising: a first stage for capturing water vapor; a cooling panel provided with adsorbent charcoal to condense and adsorb argon gas and nitrogen gas; and a second stage for mounting the cooling panel; In the cryopump comprising a housing having a … 2019 · 크라이오펌프는 기체 저장식 진공 펌프이므로 배기할 수 있는 기체의 양에는 한계가 있고 그 한계량을 배기 용량이라고 합니다. 크라이오 펌프의 성능에 대해 …. 15:51. 7) Remove the pure nitrogen line form the inlet of the cryo pump. 통상적으로 이과정에서 압력 상승 테스트를 진행합니다. CONSTITUTION: A cryopump comprises a housing (38), a flange (56) and an entrance cryopanel (32). 크라이오펌프专利检索-·放气专利检索查询-专利查询网
크라이오펌프(10)는, 실드 주개구(34)로부터 유입되는 기체의 흐름을 냉동기구조부(21)로부터 편향시키는 기체흐름조정부재(80)를 구비한다.7446-1230, - CGH 2 fuelling technology Hydrogen fuelling … 본 발명은 크라이오펌프에 관한 것이다. Bill of Material replacement parts on … · The cryocoolers (or: 'coldheads' or 'cryorefrigerators') cools gases in 2 stages; the first stage cools the gas to well below 77K (temperature of liquid nitrogen) … 2004 · 크라이오 펌프의 사용방법. 따라서 밀폐된 상태의 … 2018 · 크라이오펌프(CRYO PUMP) Cryogenics는 극저온의 뜻으로 CRYO PUMP는 헬륨 가스를 이용하여 단열팽창 원리로 냉각시킨 극저온면에 기체분자를 응축 또는 … 2019 · 6) After that CLOSE the inlet and outlet valve of cryo pump. 크라이오펌프는 기체 저장식 진공 펌프이므로 배기할 수 있는 기체의 양에는 한계가 있고 그 한계량을 배기 용량이라고 합니다. [Solution] The cryopump system 100 shares a rough pump 73 and includes a plurality of cryopumps 10 each including a roughing valve 72 and a plurality of cryopumps 10.스마트폰 잔상 Burn in 셀프로 체크하기 웰컴 세렝게티 월드
크라이오 펌프의 사용방법 1. 2004 · 크라이오 펌프의 안전한 사용에 관한 안내 사항입니다. A pressure detecting unit(120) detects the pressure of … 블로그 카테고리 이동 한국알박크라이오의 공식 블로그입니다. [Problem] Mitigating the influence of the pressure difference of a plurality of cryopumps on the regeneration process. 본 발명은 크라이오펌프에 관한 것이다. Disclosed are an apparatus and a method for controlling operation of a cryopump system.
- CRYO PUMP UNIT. 2004 · ULVAC STUDY.7446-0, Fax +49. [Solution] The cryopump 10 includes an array 14 of a plurality of cryosorption panels 50 surrounded by a cryopump internal open space 30 opened in the cryopump opening 31. CONSTITUTION: A circular plate(10) installed on a baffle of a cryo pump has:many holes(12) having more than 1/4 inch and less than 1 inch of diameter and formed in a round shape, but can be formed in polygon such as triangle, … PURPOSE: An exhaust pipe of a cryo pump is provided to exhaust nitrogen gas when the nitrogen gas is sufficiently diluted with process gas after a desired uniform pressure of gas is maintained. CONSTITUTION: A cryo-pump (10) comprises a refrigerator (16), cryo-panels (18,20), a panel temperature sensors (94,96), and a control … 크라이오펌프의 기체흡장량을 향상시킨다.
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